UVISEL椭圆偏振光谱仪

日期:2018-01-02文章来源: 浏览次数:

法国JOBIN YVON公司生产的UVISEL椭圆偏振光谱仪

温度控制范围-180°-500°,光谱扫描范围190nm-1700nm,相位测量精度0.02°,薄膜厚度测量精度可达0.03nm。

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